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卓立漢光深紫外飛秒激光器
產(chǎn)品型號(hào)： 深紫外 品 牌： 卓立漢光 價(jià)格電議,您可以向供應(yīng)商詢(xún)價(jià)得到該產(chǎn)品價(jià)格 所 在 地： 北京通州區(qū) 更新日期： 2025-06-04 詳細(xì)信息品牌：卓立漢光 型號(hào)：深紫外 加工定制：是 深紫外飛秒激光器概述
以可調(diào)諧的鎖模鈦寶石激光器作為基頻光源，經(jīng)過(guò)多級(jí)倍頻/和頻來(lái)產(chǎn)生192-200nm波段的深紫外超短脈沖激光（圖1）。
圖1. 192-200 nm超短脈沖激光產(chǎn)生方案示意圖
基于基頻光源的不同選擇，激光波長(zhǎng)還可以實(shí)現(xiàn)大范圍的調(diào)諧，*大范圍可覆蓋192-300 nm波段，且連續(xù)可調(diào)。另外還可輸出覆蓋二次諧波(375-500 nm)、三次諧波（（230-300 nm）波段的可見(jiàn)、紫外超短脈沖激光。
另外，基頻光源也可選擇1 μm波段（1064 nm、1030 nm）鎖模激光器，可獲得四次諧波（~260 nm）和五次諧波（~210 nm）的紫外激光。
圖2. 激光器實(shí)物圖（192-300 nm連續(xù)調(diào)諧，尺寸1300*600*200mm3，不含基頻源）
技術(shù)特點(diǎn)：
· 覆蓋深紫外、紫外、可見(jiàn)光的大范圍波長(zhǎng)調(diào)諧
· 電動(dòng)控制波長(zhǎng)調(diào)諧
· 高指向穩(wěn)定性
· 圖形化人機(jī)交互界面
· 波長(zhǎng)可擴(kuò)展
深紫外飛秒激光器應(yīng)用領(lǐng)域：
· 超快光譜探測(cè)
· 高精密激光加工
· 熒光壽命探測(cè)
· 非線(xiàn)性光學(xué)
2. 基頻光源技術(shù)參數(shù)
典型的基頻光源可選擇Coherent公司CHAMELEON 系列鈦寶石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技術(shù)指標(biāo)如下：
技術(shù)指標(biāo) 典型參數(shù) 波長(zhǎng) 780 nm或波長(zhǎng)可調(diào)諧 根據(jù)需求固定激光波長(zhǎng)，或可調(diào)波長(zhǎng) 脈沖寬度 100 fs、50 fs 重復(fù)頻率 80 MHz 光束質(zhì)量 M2<1.3 功率 ~2.5W@780 nm 取決于*終需求的深紫外激光功率，2.5W基頻光對(duì)應(yīng)于約4mW的195nm激光功率
3. 輸出技術(shù)指標(biāo)
（1）195 nm激光輸出功率約4 mW（基頻功率>2.5W@780nm）.
（2）195 nm激光輸出功率約0.5 mW（基頻功率>1.4W@780nm）
技術(shù)指標(biāo) 典型參數(shù) 波長(zhǎng) 195nm或波長(zhǎng)可調(diào)諧192-300nm 根據(jù)需求固定激光波長(zhǎng)，或可調(diào)波長(zhǎng) 脈沖寬度 ~500fs@266nm 基頻光脈沖寬度100fs時(shí)測(cè)試結(jié)果 重復(fù)頻率 80MHz 功率 ~4mW@195nm 典型調(diào)諧功率見(jiàn)下圖（（基于MaitaiHP基頻源測(cè)試）
圖3.各波段激光輸出功率：
（a）二次諧波；（b）直接四次諧波；（c）三次諧波；（d）四次諧波（和頻）。
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